| 機械モデル | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| 作業面積(mm) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| 発電機の電力 | 3000~20000W | ||
| X/Y軸位置決め精度 | 0.02mm/m | ||
| X/Y軸の再配置精度 | 0.03mm/m | ||
| X/Y軸最大リンク速度 | 80m/分 | ||
| 最大加速度 | 1.2G | ||
| 電源 | 三相380V/50Hz 60Hz | ||