| యంత్ర నమూనా | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| పని చేసే ప్రాంతం(మిమీ) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| జనరేటర్ యొక్క శక్తి | 3000-20000W | ||
| X/Y-అక్షం స్థానీకరణ ఖచ్చితత్వం | 0.02మిమీ/మీ | ||
| X/Y-అక్షం పునఃస్థానీకరణ ఖచ్చితత్వం | 0.03మిమీ/మీ | ||
| X/Y-అక్షం గరిష్ట లింకేజ్ వేగం | 80 మీ/నిమిషం | ||
| గరిష్ట త్వరణం | 1.2G | ||
| విద్యుత్ సరఫరా | మూడు ఫేజ్ 380V/50Hz 60Hz | ||