நவீன துல்லிய செயலாக்கத் துறையில், பாரம்பரியமானலேசர் குறியிடும் இயந்திரம்லேசர் வெப்பச் செயலாக்கத் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தும்போது, நுணுக்கத்தின் வளர்ச்சி வரம்புக்குட்பட்டதாக இருந்தது. இந்நிலையில், புற ஊதா லேசர் குறியிடும் இயந்திரத்தின் வருகை இந்தத் தேக்கநிலையை உடைத்தது. இது ஒரு வகையான குளிர் செயலாக்க முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்தச் செயலாக்க முறை "ஃபோட்டோஎட்சிங்" விளைவு என்று அழைக்கப்படுகிறது. "குளிர் செயலாக்க" (புற ஊதா) ஃபோட்டான்கள், அதிக சுமை ஆற்றலுடன், பொருளிலோ அல்லது சுற்றியுள்ள ஊடகத்திலோ உள்ள வேதியியல் பிணைப்புகளை உடைக்கின்றன. இதனால், அந்தப் பொருள் வெப்பமற்ற செயல்முறை சேதத்திற்கு உள்ளாகிறது. மேலும், உள் அடுக்கு மற்றும் அருகிலுள்ள பகுதிகளில் வெப்பமடைதல் அல்லது வெப்ப உருமாற்றம் ஏற்படுவதில்லை. இறுதியாகச் செயலாக்கப்பட்ட பொருள் மென்மையான விளிம்புகளையும் மிகக் குறைந்த கரியாதலையும் கொண்டிருப்பதால், நுணுக்கமும் வெப்பத் தாக்கமும் குறைக்கப்படுகின்றன. இது லேசர் தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு பெரும் பாய்ச்சலாகும்.
புற ஊதா லேசர் செயலாக்கத்தின் வினை வழிமுறையானது, ஒளிவேதியியல் சிதைவு மூலம் செயல்படுத்தப்படுகிறது. அதாவது, அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளுக்கு இடையேயான பிணைப்பை உடைக்க லேசர் ஆற்றலைச் சார்ந்து, அவற்றை வாயுவாக்கி சிறிய மூலக்கூறுகளாக ஆவியாக்குகிறது. இதன் குவியப் புள்ளி மிகவும் சிறியது, மேலும் செயலாக்க வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட பகுதியும் மிகச் சிறியது. எனவே, இதை மிக நுண்ணிய குறியிடல் மற்றும் சிறப்புப் பொருள் குறியிடலுக்குப் பயன்படுத்தலாம்.
| மாதிரி | FL-UV3 | FL-UV5 |
| லேசர் சக்தி | 3W | 5W |
| குளிரூட்டும் வழி | காற்று குளிரூட்டல் | |
| லேசர் அலைநீளம் | 355nm | |
| வெளியீட்டு சக்தி | >3W@30KHz | >5W@40KHz |
| அதிகபட்ச துடிப்பு ஆற்றல் | 0.1mJ@30KHz | 0.12mJ@40KHz |
| துடிப்பு மறுநிகழ்வு அதிர்வெண் | 1-150KHz | 1-150KHz |
| துடிப்பு கால அளவு | <15ns@30KHz | <18ns@40KHz |
| சராசரி ஆற்றல் நிலைத்தன்மை | <3% | <3% |
| துருவமுனைப்பு விகிதம் | >100:1 கிடைமட்ட | >100:1 கிடைமட்ட |
| கற்றை வட்டத்தன்மை | >90% | >90% |
| சுற்றுச்சூழல் தேவை | செயல்படும் வெப்பநிலை: 18°-26° ஈரப்பதம்: 30% - 85%. | |
| கட்டுப்பாட்டுப் பலகை மற்றும் மென்பொருள் | JCZ EZcad2 | |