| Mashina modeli | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| Ish maydoni (mm) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| Generatorning quvvati | 3000-20000 Vt | ||
| X/Y o'qi joylashuvining aniqligi | 0,02 mm/m | ||
| X/Y o'qini qayta joylashtirish aniqligi | 0,03 mm/m | ||
| X/Y o'qi Maksimal ulanish tezligi | 80 m/daqiqa | ||
| Maksimal tezlanish | 1.2G | ||
| Quvvatlantirish manbai | Uch fazali 380V/50Hz 60Hz | ||