| ماشىنا مودېلى | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| خىزمەت كۆلىمى (mm) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| گېنېراتورنىڭ قۇۋۋىتى | 3000-20000W | ||
| X/Y ئوقىنىڭ ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقى | 0.02mm/m | ||
| X/Y ئوقىنىڭ ئورنىنى ئۆزگەرتىش توغرىلىقى | 0.03mm/m | ||
| X/Y ئوقى ئەڭ چوڭ ئۇلىنىش سۈرئىتى | 80m/min | ||
| ئەڭ يۇقىرى تېزلىنىش | 1.2G | ||
| توك بىلەن تەمىنلەش | ئۈچ باسقۇچلۇق 380V/50Hz 60Hz | ||