| Машины загвар | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| Ажлын талбай (мм) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| Генераторын хүч | 3000-20000Вт | ||
| X/Y тэнхлэгийн байрлалын нарийвчлал | 0.02мм/м | ||
| X/Y тэнхлэгийн байрлалыг өөрчлөх нарийвчлал | 0.03мм/м | ||
| X/Y тэнхлэгийн хамгийн их холболтын хурд | 80м/мин | ||
| Хамгийн их хурдатгал | 1.2G | ||
| Цахилгаан хангамж | Гурван фазын 380V/50Hz 60Hz | ||