| Машины загвар | FL-L12025 | FL-L13025 | FL-L16030 |
| Ажлын талбай(мм) | 12000*2500 | 13000*2500 | 16500*3200 |
| генераторын хүч | 3000-20000 Вт | ||
| X/Y тэнхлэгийн байршлын нарийвчлал | 0.02мм/м | ||
| X/Y тэнхлэгийн байрлалыг өөрчлөх нарийвчлал | 0.03мм/м | ||
| X/Y-тэнхлэг Макс. холболтын хурд | 80м/мин | ||
| Хамгийн их хурдатгал | 1.2G | ||
| Эрчим хүчний хангамж | Гурван фазын 380V/50Hz 60Hz | ||