Хөнгөн цагаан хайлш нь сайн физик, химийн шинж чанар, маш сайн механик шинж чанартай тул хагас дамжуулагч болон микроэлектроникийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Орчин үеийн аж үйлдвэрийн бүтээгдэхүүнүүд өндөр бат бэх, хөнгөн жин, өндөр гүйцэтгэл рүү чиглэхийн хэрээр хөнгөн цагаан хайлшаар лазераар зүсэх аргууд нь нарийвчлал, үр ашиг, уян хатан байдал руу чиглэн хөгжиж байна. Лазераар зүсэх нь нарийн зүсэлттэй, халуунд өртөх жижиг бүстэй, өндөр үр ашигтай, зүсэлтийн ирмэгүүдэд механик стрессгүй байх давуу талуудтай. Энэ нь хөнгөн цагаан хайлшийг нарийн боловсруулах чухал арга болсон.
Одоо байгаа хөнгөн цагаан хайлшаар лазераар зүсэх нь ерөнхийдөө зүсэх толгой болон туслах хий ашигладаг. Үүний ажиллах механизм нь лазер нь хөнгөн цагаан хайлшийн дотор талд төвлөрч, өндөр энергийн хийжүүлэлт нь хөнгөн цагаан хайлшийг хайлуулж, өндөр даралттай туслах хий нь хайлсан материалыг үлээж хаядагт оршино.
Энэхүү зүсэх арга нь голчлон 10640нм ба 1064нм долгионы урттай хоёр лазер ашигладаг бөгөөд хоёулаа хэт улаан туяаны долгионы уртын хүрээнд багтдаг. Хөнгөн цагаан хайлшийн хуудсыг микроны түвшинд зүсэх хэмжээний нарийвчлалтайгаар нарийн зүсэхэд том гэрлийн толбо, том дулаанд өртсөн талбайтай тул зүсэлтийн ирмэг дээр амархан зүсэгдэж, бичил хагарал үүсдэг бөгөөд энэ нь эцсийн эцэст зүсэлтийн нарийвчлал болон үр нөлөөнд нөлөөлдөг.
Хөнгөн цагаан хайлшин лазер зүсэх систем болон хувилбарын арга нь лазер туяаны жижиг импульсийн өргөн болон богино долгионы уртыг ашиглан зүсэх ажлын хэсгийг холбоогүй байдлаар зүсэхийг хэрэгжүүлж, механик аргаар зүсэх ажлын хэсгийн контакт стрессийн алдагдалаас зайлсхийж, зүсэх явцад боловсруулалтын явцад бичил хагарал, шаар өлгөх зэрэг асуудлуудыг дулааны боловсруулалтын механизмаас үүдэлтэй; зүсэх ажлын хэсгийг хэвтээ байдлаар бэхлэхийн тулд тусгай бэхэлгээ ашиглан, завсарлагааны байрлалыг агаарт байлгаснаар зүсэх ажлын хэсгийн зүсэх хэсгийг зүсэх үед унахаас сэргийлж ар талаас нь тулгуурладаг. Зүсэх ирмэгийн эффектийг устгахын тулд стресс үүсгэдэг; зүсэх ажлын хэсгийг хөргөхийн тулд усны савны төхөөрөмж дэх эргэлдэж буй хөргөлтийн усыг ашиглан, эргэн тойрон дахь материалд дулааны нөлөөллийг сулруулж, зүсэх чанарыг улам сайжруулдаг; зүсэх давхаргыг өргөжүүлэхийн тулд олон зүсэх замын хослолоор зүсдэг. Өргөн нь зүсэх үр ашгийг сайжруулдаг.
Дээрх хувилбарууд нь илүүд үзсэн хэрэгжилтүүд боловч хэрэгжилт нь дээрх хувилбаруудаар хязгаарлагдахгүй. Үндсэн зарчим, зарчмуудаас хазайхгүй бусад өөрчлөлт, өөрчлөлт, орлуулалт, хослол, хялбаршуулалтыг дараах байдлаар хийх ёстой. Үр дүнтэй орлуулах аргууд нь бүгд хөнгөн цагааны хайлшаар лазераар зүсэх аргын хамгаалалтын хүрээнд багтсан болно.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 5-р сарын 23
