Хөнгөн цагааны хайлш нь физик, химийн шинж чанар сайтай, механик шинж чанар сайтай тул хагас дамжуулагч болон микроэлектроникийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг. Орчин үеийн аж үйлдвэрийн бүтээгдэхүүнүүд өндөр бат бэх, хөнгөн жинтэй, өндөр гүйцэтгэлтэй байхын хэрээр хөнгөн цагаан хайлшаар хийсэн лазер зүсэх аргууд нь мөн нарийвчлал, үр ашигтай, уян хатан байдалд хөгжиж байна. Лазер зүсэлт нь нарийн зүсэх ангархай, жижиг халуунд өртөх бүс, өндөр үр ашигтай, огтлох ирмэгийн механик ачаалалгүй зэрэг давуу талуудтай. Энэ нь хөнгөн цагааны хайлшийг нарийн боловсруулах чухал арга болсон.
Одоо байгаа хөнгөн цагааны хайлшаар хийсэн лазер зүсэлт нь ерөнхийдөө хайчлах толгой болон туслах хий ашигладаг. Түүний ажиллах механизм нь лазер нь хөнгөн цагааны хайлшны дотор талд анхаарлаа төвлөрүүлж, өндөр эрчим хүчээр хийжүүлэх нь хөнгөн цагааны хайлшийг хайлуулж, өндөр даралттай туслах хий нь хайлсан материалыг үлээлгэдэг.
Энэхүү зүсэх арга нь ихэвчлэн 10640 нм ба 1064 нм долгионы урттай хоёр лазерыг ашигладаг бөгөөд хоёулаа хэт улаан туяаны долгионы уртад хамаардаг. Хөнгөн цагааны хайлшийг микроны түвшинд зүсэх хэмжээтэй нарийвчлалтай зүсэхийн тулд том гэрлийн толботой, халуунд өртдөг том талбайтай тул зүсэх ирмэг дээр шаар, бичил хагарал үүсэхэд хялбар байдаг бөгөөд энэ нь эцсийн эцэст зүсэлтийн нарийвчлал, үр дүнд нөлөөлдөг.
Хөнгөн цагааны хайлшаар хийсэн лазер хайчлах систем ба уг хувилбарын арга нь лазер туяаны импульсийн бага өргөн, богино долгионы уртыг ашиглан зүсэх бэлдэцийг контактгүй зүсэх, механик аргаар зүсэх ажлын хэсгийн контактын стресс алдагдахаас сэргийлж, зүсэх явцад процессын явцад бичил хагарал, шаар унжих зэрэг асуудлууд үүсдэг; тусгай бэхэлгээг ашиглан зүсэх бэлдэцийг хэвтээ тэнхлэгт нь бэхлэхийн тулд ангархай байрлалыг агаарт байлгахын зэрэгцээ зүсэх ажлын хэсгийн зүсэх хэсгийг ар талаас нь дэмжиж, зүсэх үед унахаас сэргийлнэ. Хамгийн сүүлийн үеийн үр нөлөөг арилгахын тулд стресс үүсгэдэг; усны савны төхөөрөмж дэх эргэлтийн хөргөлтийн усыг ашиглан зүсэх бэлдэцийг хөргөх, хүрээлэн буй материалын дулааны нөлөөллийг сулруулж, зүсэх чанарыг улам сайжруулах; зүсэх давхаргыг өргөтгөхийн тулд олон зүсэх замыг хослуулан зүснэ Өргөн нь зүсэх үр ашгийг сайжруулдаг.
Дээрх хувилбарууд нь илүүд үздэг хувилбарууд боловч хэрэгжилт нь дээрх хувилбаруудаар хязгаарлагдахгүй. Сэтгэл санаа, зарчмаас гажаагүй бусад аливаа өөрчлөлт, өөрчлөлт, орлуулалт, хослол, хялбаршуулалтыг дараах байдлаар хийнэ. Үр дүнтэй солих аргууд нь хөнгөн цагааны хайлшаар хийсэн лазер хайчлах аргыг хамгаалах хамрах хүрээнд багтсан болно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 5-р сарын 23-ны хооронд
